水利电力 GB 50781-2012 电子工厂化学品系统工程技术规范

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标准号：GB 50781-2012
实施状态：现行
中文名称：电子工厂化学品系统工程技术规范(附条文说明)
英文名称：Technical code for Chemical System of Electronic Factory
组织分类：GB
中标分类：P82
ICS分类：31.020
标准分类：CN
发布日期：2012-06-28
实施日期：2012-12-01
归口单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
起草单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
范围：本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。