为规范多晶硅工厂的工程设计，提高工程设计质量，做到技术先进、经济合理、安全可靠、环保节能，制定本规范。
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
标准编号：GB 51034-2014
标准名称：多晶硅工厂设计规范
英文名称：Code for design of polysilicon plant
发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期：2014-08-27
实施日期：2015-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：121页
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计，也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
标准编号：GB 51034-2014
标准名称：多晶硅工厂设计规范
英文名称：Code for design of polysilicon plant
发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部
发布日期：2014-08-27
实施日期：2015-05-01
标准状态：现行
文件格式：PDF
文件页数：121页